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硅芯片級拋光樹脂、 半導體級拋光樹脂、 杜邦UP6150替代品、 工业用RO膜、 工业用逆渗透膜、

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安可立是一家专业研发和生产硅芯片級拋光樹脂、工业用逆渗透(RO)膜的领先企业。本公司位于台湾，并在全球范围内提供其创新和高品质的产品。自创立以来，安可立一直致力于透过创新技术，提供解决业界硅芯片級拋光樹脂、工业用RO膜、工业用逆渗透膜的产品和服务。

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东 莞 昆 三 实 业 有 限 公 司 | 安 可 立 企 业 社 | 硅 芯 片 级 拋 光 树 脂 H O M E C O N T A C T U S 关 于 我 们 安 可 立 介 绍 工 厂 实 景 产 品 介 绍 抛 光 树 脂 中 水 R O 膜 海 淡 R O 膜 工 业 用 滤 芯 产 品 使 用 和 维 护 保 养 手 册 其 他 工 业 滤 芯 行 业 应 用 钢 铁 行 业 海 水 淡 化 电 力 行 业 食 品 制 造 行 业 生 物 医 药 行 业 废 水 回 收 工 业 用 R O 膜 探 讨 R O 逆 渗 透 膜 原 理 工 业 用 R O 膜 与 一 般 R O 膜 有 哪 些 差 别 ？ 工 业 R O 膜 有 哪 些 品 牌 ？ 如 何 选 择 适 合 的 工 业 用 R O 膜 ？ 预 处 理 对 工 业 用 R O 膜 性 能 的 影 响 工 业 用 R O 膜 在 废 水 处 理 中 的 角 色 和 价 值 如 何 提 高 工 业 用 R O 膜 系 统 的 运 行 效 率 R O 膜 寿 命 的 影 响 因 素 和 改 善 方 法 解 析 R O 膜 的 失 效 模 式 与 更 换 时 机 超 纯 水 设 备 抛 光 树 脂 作 用 及 填 装 方 法 抛 光 树 脂 的 作 用 树 脂 用 什 么 抛 光 最 好 抛 光 树 脂 抛 光 树 脂 回 收 的 重 要 性 超 纯 水 抛 光 树 脂 能 再 生 吗 ? 抛 光 树 脂 与 普 通 树 脂 的 区 别 ？ 离 子 交 换 树 脂 离 子 交 换 树 脂 的 颗 粒 尺 寸 和 有 关 的 物 理 性 质 对 它 的 工 作 和 性 能 有 什 么 影 响 ？ 离 子 交 换 树 脂 的 主 要 功 能 离 子 交 换 树 脂 的 应 用 领 域 离 子 交 换 树 脂 的 保 存 方 法 和 注 意 事 项 浅 谈 离 子 交 换 树 脂 在 新 能 源 材 料 回 收 处 理 工 艺 中 的 应 用 1 超 纯 水 中 的 T O C 如 何 降 到 小 于 5 P P b ？ 美 国 罗 门 哈 斯 U P 6 1 5 0 超 纯 水 树 脂 的 替 代 品 出 现 了 生 产 用 水 及 超 纯 水 的 最 终 抛 光 选 择 我 们 只 做 专 业 抛 光 树 脂 台 湾 安 可 立 两 款 硅 芯 片 级 抛 光 树 脂 可 替 代 U P 6 1 5 0 离 子 交 换 树 脂 台 湾 安 可 立 超 纯 水 抛 光 树 脂 超 纯 水 抛 光 树 脂 如 何 保 管 ？ 超 纯 水 离 子 交 换 树 脂 抛 光 树 脂 哪 家 好 ？ U P 6 1 5 0 抛 光 树 脂 替 代 品 芯 片 级 抛 光 树 脂 价 格 硅 芯 片 级 级 抛 光 树 脂 A C L U P 1 8 1 0 硅 芯 片 级 抛 光 树 脂 ： 为 半 导 体 行 业 赋 能 抛 光 树 脂 的 应 用 领 域 安 可 立 U P 1 8 1 0 超 纯 水 抛 光 树 脂 。 台 湾 安 可 立 A C L U P 1 8 1 0 超 纯 水 树 脂 应 用 优 势 安 可 立 A C L U P 1 8 1 0 超 纯 水 树 脂 正 确 使 用 方 法 离 子 交 换 树 脂 的 工 业 应 用 硅 芯 片 级 抛 光 树 脂 在 半 导 体 行 业 的 应 用 超 纯 水 离 子 交 换 树 脂 抛 光 树 脂 在 半 导 体 行 业 水 处 理 的 应 用 硅 芯 片 级 抛 光 树 脂 安 可 立 U P 1 8 1 0 抛 光 树 脂 替 代 美 国 罗 门 哈 斯 U P 6 1 5 0 超 纯 水 树 脂 抛 光 树 脂 硅 芯 片 级 抛 光 树 脂 硅 芯 片 级 抛 光 树 脂 在 半 导 体 行 业 的 应 用 美 国 罗 门 哈 斯 U P 6 1 5 0 替 代 品 可 做 半 导 体 行 业 超 纯 水 抛 光 树 脂 离 子 交 换 树 脂 排 名 离 子 交 换 树 脂 在 半 导 体 行 业 的 应 用 半 导 体 抛 光 树 脂 T O C 抛 光 树 脂 抛 光 树 脂 及 其 相 关 应 用 离 子 交 换 树 脂 技 术 的 发 展 罗 门 哈 斯 U P 6 1 5 0 抛 光 树 脂 硅 芯 片 级 抛 光 树 脂 T O C 抛 光 树 脂 的 应 用 领 域 半 导 体 芯 片 行 业 超 纯 水 处 理 硅 芯 片 级 抛 光 树 脂 离 子 交 换 树 脂 在 超 纯 水 处 理 中 的 精 湛 应 用 — — 探 秘 抛 光 树 脂 的 精 妙 世 界 离 子 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类 别 ? 阳 离 子 交 换 树 脂 是 干 什 么 用 的 ? 阳 离 子 交 换 树 脂 是 危 险 品 吗 ? 抛 光 树 脂 是 怎 样 产 生 纯 水 的 ？ 树 脂 软 化 器 阳 离 子 交 换 树 脂 建 议 每 多 长 时 间 更 换 一 次 离 子 交 换 树 脂 纯 水 的 自 动 化 离 子 交 换 树 脂 工 艺 流 程 图 阳 离 子 交 换 树 脂 浸 泡 需 要 多 少 时 间 离 子 交 换 树 脂 的 交 换 能 力 和 p h 的 关 系 抛 光 树 脂 设 备 厂 家 废 离 子 交 换 树 脂 怎 么 处 理 离 子 交 换 树 脂 属 于 分 析 纯 还 是 色 谱 纯 离 子 交 换 树 脂 洗 脱 用 什 么 离 子 交 换 树 脂 一 般 几 年 换 一 次 抗 燃 油 离 子 交 换 树 脂 原 理 核 级 离 子 交 换 树 脂 耐 高 温 阳 离 子 交 换 树 脂 7 3 2 氢 型 强 酸 性 阳 离 子 交 换 树 脂 如 何 使 用 7 3 2 强 酸 苯 乙 烯 阳 离 子 交 换 树 脂 阳 离 子 交 换 树 脂 洗 脱 顺 序 口 诀 钠 型 7 3 2 阳 离 子 交 换 树 脂 抛 光 树 脂 混 合 物 有 哪 些 阴 离 子 交 换 树 脂 o h 型 树 脂 打 磨 抛 光 步 骤 离 子 交 换 树 脂 使 用 前 预 处 理 除 重 金 属 离 子 交 换 树 脂 一 级 抛 光 树 脂 和 二 级 抛 光 树 脂 的 区 别 是 什 么 金 属 离 子 交 换 树 脂 加 强 型 是 什 么 情 况 ？ 阳 离 子 交 换 树 脂 有 几 种 U P 6 1 5 0 抛 光 树 脂 失 效 的 原 因 和 判 定 办 法 离 子 交 换 树 脂 生 产 商 高 纯 度 、 低 T O C 优 选 安 可 立 硅 芯 片 级 抛 光 树 脂 工 艺 流 程 硅 芯 片 抛 光 树 脂 一 般 几 年 换 一 次 净 水 离 子 交 换 树 脂 阴 离 子 树 脂 w b a 抛 光 树 脂 是 固 体 还 是 液 体 7 1 7 阴 离 子 交 换 树 脂 预 处 理 树 脂 抛 光 材 料 抛 光 树 脂 去 除 t o c 吗 ? 阴 离 子 交 换 树 脂 怎 么 知 道 失 效 了 没 有 制 水 设 备 抛 光 树 脂 多 少 钱 一 吨 抛 光 树 脂 使 用 寿 命 抛 光 树 脂 保 质 期 和 储 存 条 件 抛 光 树 脂 为 什 么 要 用 2 级 抛 光 树 脂 标 准 是 什 么 离 子 交 换 树 脂 还 原 固 化 阳 离 子 交 换 树 脂 制 备 纯 水 的 方 式 抛 光 树 脂 树 脂 抛 光 的 工 艺 流 程 h 型 离 子 交 换 树 脂 作 用 大 孔 型 离 子 交 换 树 脂 吸 附 水 吗 抛 光 树 脂 的 品 牌 有 哪 些 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 的 定 义 和 特 点 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 能 除 去 什 么 离 子 ? 吸 附 离 子 交 换 树 脂 的 原 理 抛 光 树 脂 对 碳 酸 氢 根 去 除 率 阴 离 子 交 换 树 脂 有 毒 吗 如 何 判 断 阴 离 子 交 换 树 脂 是 否 老 化 ？ 离 子 交 换 树 脂 老 化 后 应 如 何 处 理 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 为 什 么 在 交 换 前 分 别 用 酸 碱 处 理 并 洗 至 中 性 强 酸 性 阳 离 子 交 换 树 脂 预 处 理 程 序 滤 芯 中 的 离 子 交 换 树 脂 为 啥 是 黑 白 色 的 抛 光 树 脂 和 普 通 树 脂 的 区 别 超 纯 水 抛 光 树 脂 用 途 离 子 交 换 树 脂 的 机 械 强 度 是 多 少 m p a 离 子 交 换 树 脂 在 石 油 中 的 应 用 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 的 运 行 顺 序 吸 附 离 子 交 换 树 脂 阳 离 子 交 换 树 脂 是 不 是 危 险 废 物 ？ 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 能 除 去 什 么 离 子 ? 抛 光 树 脂 对 碳 酸 氢 根 去 除 率 阴 离 子 交 换 树 脂 有 毒 吗 离 子 交 换 树 脂 到 期 的 原 因 从 分 子 式 区 分 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 区 离 子 交 换 树 脂 最 主 要 的 原 料 是 阳 离 子 交 换 树 脂 如 何 活 化 阳 离 子 交 换 树 脂 洗 脱 顺 序 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 用 什 么 盐 溶 解 罗 门 哈 斯 树 脂 和 漂 莱 特 树 脂 哪 个 好 ？ 抛 光 树 脂 更 换 周 期 抛 光 树 脂 耐 温 多 少 度 抛 光 树 脂 密 度 用 于 超 纯 水 的 抛 光 树 脂 哪 种 质 量 好 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 是 合 成 树 脂 吗 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 的 选 择 标 准 离 子 交 换 树 脂 耐 热 性 测 试 方 法 离 子 交 换 树 脂 选 择 性 影 响 因 素 离 子 交 换 树 脂 再 生 周 期 计 算 离 子 交 换 树 脂 再 生 的 最 佳 实 践 离 子 交 换 树 脂 再 生 温 度 控 制 技 巧 用 于 超 纯 水 的 抛 光 树 脂 哪 种 质 量 好 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 是 合 成 树 脂 吗 离 子 交 换 树 脂 再 生 时 间 如 何 确 定 离 子 交 换 树 脂 再 生 剂 浓 度 优 化 方 法 如 何 选 择 适 合 的 离 子 交 换 树 脂 硅 芯 片 级 抛 光 树 脂 选 择 技 巧 半 导 体 行 业 抛 光 树 脂 技 术 趋 势 硅 芯 片 抛 光 树 脂 环 保 处 理 方 法 硅 芯 片 抛 光 树 脂 成 本 控 制 策 略 半 导 体 抛 光 树 脂 环 保 特 性 研 究 抛 光 树 脂 跟 混 床 树 脂 的 区 别 半 导 体 抛 光 树 脂 市 场 趋 势 半 导 体 抛 光 树 脂 应 用 新 领 域 罗 门 哈 斯 u p 6 1 5 0 抛 光 树 脂 U P 6 1 5 0 树 脂 在 半 导 体 行 业 的 应 用 案 例 u p 6 1 5 0 树 脂 替 代 品 环 保 特 性 离 子 交 换 树 脂 的 选 择 依 据 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 的 应 用 领 域 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 的 再 生 方 法 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 的 维 护 保 养 T O C 树 脂 与 其 他 树 脂 比 较 如 何 提 高 T O C 树 脂 的 吸 附 能 力 T O C 树 脂 的 环 保 性 能 T O C 树 脂 的 合 成 方 法 超 纯 水 抛 光 树 脂 的 应 用 领 域 超 纯 水 抛 光 树 脂 的 维 护 方 法 超 纯 水 抛 光 树 脂 的 使 用 寿 命 如 何 选 择 合 适 的 超 纯 水 抛 光 树 脂 离 子 交 换 树 脂 在 水 处 理 中 的 关 键 角 色 ： 原 理 与 应 用 離 子 交 換 樹 脂 價 格 與 品 牌 推 薦 ： 如 何 選 擇 最 適 合 的 水 處 理 樹 脂 ？ 如 何 选 择 适 合 的 离 子 交 换 树 脂 ？ 水 处 理 专 家 的 建 议 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 在 超 纯 水 系 统 中 的 应 用 与 优 势 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 在 水 处 理 中 的 关 键 角 色 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 的 分 类 与 技 术 发 展 趋 势 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 的 吸 附 能 力 与 离 子 选 择 性 分 析 如 何 提 升 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 的 交 换 效 率 ？ 运 行 技 巧 分 享 选 择 优 质 离 子 交 换 树 脂 厂 家 需 考 虑 哪 些 关 键 指 标 ？ 超 纯 水 系 统 专 用 离 子 交 换 树 脂 ： 哪 家 厂 家 更 专 业 ？ 国 产 V S 进 口 ： 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 品 牌 大 比 拼 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 市 场 现 状 与 主 流 厂 家 推 荐 （ 2 0 2 5 最 新 版 ） 从 超 纯 水 到 废 水 回 收 ： 离 子 交 换 树 脂 在 电 子 业 中 的 全 方 位 应 用 电 子 制 造 中 离 子 污 染 不 可 忽 视 ， 选 择 合 适 树 脂 厂 家 是 关 键 离 子 交 换 树 脂 如 何 提 升 水 处 理 系 统 的 稳 定 性 与 寿 命 高 纯 度 要 求 下 ， 如 何 选 择 适 用 于 半 导 体 工 艺 的 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 ？ 半 导 体 制 造 中 的 守 门 员 ： 离 子 交 换 树 脂 的 应 用 解 析 从 P C B 清 洗 到 晶 圆 处 理 ： 离 子 交 换 树 脂 在 电 子 产 业 的 多 重 应 用 从 清 洗 到 制 程 用 水 ： 离 子 交 换 树 脂 如 何 保 障 晶 圆 制 造 的 纯 净 环 境 ？ 电 子 级 树 脂 选 型 指 南 ： 半 导 体 产 线 如 何 挑 选 合 适 的 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 ？ 影 响 半 导 体 水 质 稳 定 的 关 键 因 素 ： 离 子 交 换 树 脂 与 T O C 控 制 技 术 浅 谈 高 纯 水 如 何 影 响 良 率 ？ 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 对 晶 圆 制 造 的 核 心 角 色 解 析 最 新 消 息 滤 芯 耗 材 联 系 我 们 安 可 立 硅 芯 片 级 抛 光 树 脂 工 业 用 R O 膜 、 工 业 用 逆 渗 透 膜 安 可 立 硅 芯 片 级 抛 光 树 脂 工 业 用 R O 膜 、 工 业 用 逆 渗 透 膜 A n C l e a n A B O U T U S 关 于 安 可 立 专 业 研 发 和 生 产 硅 芯 片 级 抛 光 树 脂 以 及 工 业 用 逆 渗 透 （ R O ） 膜 的 领 先 企 业 。 本 公 司 位 于 台 湾 ， 并 在 全 球 范 围 内 提 供 其 创 新 和 高 品 质 的 产 品 。 A R T I C L E 专 题 文 章 提 供 硅 芯 片 级 抛 光 树 脂 、 工 业 用 逆 渗 透 （ R O ） 膜 相 关 资 讯 ， 这 是 一 种 半 导 体 技 术 ， 能 有 效 地 除 去 水 中 的 杂 质 和 污 染 物 。 产 品 介 绍 硅 芯 片 级 抛 光 树 脂 、 逆 渗 透 产 品 介 绍 、 工 业 用 R O 膜 、 工 业 用 逆 渗 透 膜 W E C H A T 线 上 客 服 微 信 搜 索 ： a n c l e a n o f f i c i a l 线 上 客 服 为 您 服 务 L A T E S T N E W S 最 新 消 息 新 闻 公 告 、 最 新 参 展 信 息 、 国 内 媒 体 相 关 报 导 、 国 际 媒 体 相 关 报 导 、 硅 芯 片 级 抛 光 树 脂 以 及 工 业 用 逆 渗 透 （ R O ） 膜 相 关 新 闻 资 讯 。 C O N T A C T U S 联 系 我 们 联 系 安 可 立 企 业 ， 来 电 专 人 为 您 服 务 。 L a t e s t N e w s 最 新 消 息 N E W S 2 0 2 5 0 7 0 9 高 纯 水 如 何 影 响 良 率 ？ 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 对 晶 圆 制 造 的 核 心 角 色 解 析 在 先 进 半 导 体 制 造 的 洁 净 室 里 ， 影 响 晶 圆 成 败 的 ， 不 仅 是 昂 贵 的 设 备 与 复 杂 的 制 程 流 程 ， 更 有 一 个 看 似 普 通 但 至 关 重 要 的 元 素 — — 高 纯 水 （ U l t r a P u r e W a t e r , 简 称 U P W ） 。 它 不 参 与 晶 圆 的 功 能 设 计 ， 却 决 定 了 产 品 的 良 率 与 制 程 稳 定 性 。 而 实 现 高 纯 水 品 质 的 关 键 材 料 之 一 ， 就 是 本 文 要 探 讨 的 主 角 ： 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 。 一 、 为 什 么 半 导 体 制 程 需 要 高 纯 水 ？ 在 晶 圆 制 造 过 程 中 ， 从 氧 化 、 光 刻 、 蚀 刻 到 清 洗 、 抛 光 等 多 个 步 骤 ， 几 乎 都 离 不 开 大 量 高 纯 水 。 根 据 S E M I （ 国 际 半 导 体 设 备 与 材 料 协 会 ） 标 准 ， 高 纯 水 必 须 达 到 以 下 条 件 ： 电 阻 率 ≥       1 8 . 2 M Ω · c m T O C （ 总 有 机 碳 ） ≤ 1 p p b 金 属 杂 质 浓 度 低 至       p p t （ 万 亿 分 之 一 ） 级 别 微 粒 数 接 近 0 （ 纳 米 级 控 制 ） 这 些 标 准 之 所 以 如 此 严 格 ， 是 因 为 哪 怕 是 极 微 量 的 离 子 杂 质 、 有 机 物 或 微 粒 ， 都 可 能 在 晶 圆 表 面 产 生 化 学 反 应 ， 导 致 电 性 失 效 或 成 品 报 废 。 换 句 话 说 ： 水 不 够 纯 ， 良 率 就 可 能 直 接 下 降 。 二 、 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 的 作 用 是 什 么 ？ 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 是 一 种 含 有 可 交 换 功 能 基 团 的 高 分 子 材 料 ， 通 过 “ 离 子 交 换 ” 原 理 ， 去 除 水 中 的 溶 解 性 阳 离 子 （ 如 钠 、 钙 、 铁 ） 和 阴 离 子 （ 如 氯 、 硫 酸 根 、 硝 酸 根 ） 等 杂 质 。 在 U P W 系 统 中 ， 常 见 的 结 构 包 括 ： 阳 离 子 交 换 树 脂 （ C a t i o n       R e s i n ） ： 去 除 正 离 子 阴 离 子 交 换 树 脂 （ A n i o n       R e s i n ） ： 去 除 负 离 子 混 床 树 脂 （ M i x e d       B e d R e s i n ） ： 混 合 使 用 ， 作 为 精 密 去 离 子 步 骤 高 品 质 的 电 子 级 树 脂 能 帮 助 U P W 系 统 输 出 电 阻 率 高 、 T O C 低 、 重 金 属 含 量 极 低 的 超 纯 水 ， 是 保 障 制 程 洁 净 度 的 “ 最 后 一 道 防 线 ” 。 三 、 水 质 不 稳 定 ， 会 造 成 什 么 影 响 ？ 若 使 用 的 树 脂 品 质 不 佳 ， 或 系 统 中 残 留 污 染 物 超 标 ， 可 能 产 生 以 下 问 题 ： 问 题 影 响 金 属 离 子 残 留 导 致 晶 圆 表 面 电 性 偏 移 、 漏 电 、 短 路 T O C 过 高 污 染 光 刻 胶 ， 降 低 显 影 精 度 微 粒 残 留 造 成 电 路 短 断 、 成 品 报 废 初 期 清 洗 周 期 长 增 加 产 线 切 换 时 间 ， 影 响 生 产 效 率 因 此 ， 选 择 高 纯 度 、 低 污 染 、 初 期 清 洗 时 间 短 的 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 ， 已 成 为 各 大 晶 圆 厂 稳 定 良 率 的 关 键 。 四 、 有 哪 些 优 质 品 牌 可 供 选 择 ？ 以 下 是 目 前 行 业 内 广 泛 认 可 、 适 用 于 半 导 体 与 封 测 厂 的 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 品 牌 ： ✅ 罗 门 哈 斯 （ R o h m a n d H a a s , 杜 邦 旗 下 ） 行 业 经 典 款 ， 全 球 晶 圆 厂 标 配 T O C 与 金 属 控 制 表 现 极 佳 ， 适 用 于 E U V 等 先 进 制 程 缺 点 为 成 本 较 高 、 供 应 周 期 偏 长 ✅ 安 可 立 （ A n i o n c h e m ） 来 自 中 国 台 湾 的 新 兴 品 牌 被 视 为 U P 6 1 5 0 的 优 质 替 代 品 T O C 低 于 1 p p b ， 金 属 溶 出 极 少 支 持 快 速 启 动 、 交 期 灵 活 、 服 务 在 地 化 ✅ 三 菱 化 学 （ M i t s u b i s h i C h e m i c a l ） 结 构 稳 定 、 适 合 重 复 清 洗 与 再 生 系 统 广 泛 应 用 于 日 本 及 亚 洲 晶 圆 与 封 测 产 线 ✅ 朗 盛 （ L A N X E S S ） 德 国 制 造 ， 品 质 稳 定 T O C 与 颗 粒 释 放 控 制 优 秀 ， 适 用 于 长 周 期 运 行 环 境 ✅ 漂 莱 特 （ P u r o l i t e ） 英 国 品 牌 ， 支 持 全 球 U P W 与 混 床 系 统 提 供 高 纯 度 、 高 回 收 系 统 匹 配 解 决 方 案 五 、 结 语 ： 水 看 似 无 形 ， 却 决 定 了 晶 圆 的 命 运 在 晶 圆 制 造 的 世 界 里 ， 水 不 是 配 角 ， 而 是 “ 看 不 见 的 主 角 ” 。 而 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 ， 正 是 这 套 纯 净 系 统 的 关 键 净 化 组 件 。 选 择 合 适 的 电 子 级 树 脂 ， 不 仅 能 提 升 水 系 统 运 行 效 率 ， 更 能 有 效 降 低 晶 圆 污 染 风 险 、 提 高 良 率 、 降 低 生 产 成 本 。 未 来 ， 随 着 制 程 迈 入 更 精 细 、 更 敏 感 的 技 术 节 点 ， 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 的 重 要 性 只 会 与 日 俱 增 。 选 对 产 品 、 选 对 品 牌 ， 就 是 企 业 把 握 竞 争 力 的 第 一 步 。 关 键 词 ： 硅 芯 片 级 抛 光 树 脂 ； 半 导 体 抛 光 树 脂 ； 芯 片 级 抛 光 树 脂 ； T O C 抛 光 树 脂 ； 罗 门 哈 斯 U P 6 1 5 0 抛 光 树 脂 ； 6 1 5 0 替 代 品 ； 5 p p b 以 下 抛 光 树 脂 ； 离 子 交 换 树 脂 ； 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 ； 离 子 交 换 树 脂 厂 家 ； 超 纯 水 抛 光 树 脂 ； 纯 水 离 子 交 换 树 脂 ； 抛 光 树 脂 ； 杜 邦 U P 6 1 5 0 替 代 品 V I E W M O R E N E W S 2 0 2 5 0 6 2 5 影 响 半 导 体 水 质 稳 定 的 关 键 因 素 ： 离 子 交 换 树 脂 与 T O C 控 制 技 术 浅 谈 在 现 代 半 导 体 制 造 过 程 中 ， 水 质 不 仅 是 基 础 设 施 的 一 部 分 ， 更 是 决 定 产 品 良 率 与 工 艺 稳 定 性 的 核 心 要 素 之 一 。 随 着 晶 圆 制 程 从 7 n m 、 5 n m 走 向 3 n m 甚 至 更 先 进 节 点 ， 水 中 微 量 污 染 物 对 工 艺 造 成 的 影 响 被 无 限 放 大 。 因 此 ， 如 何 确 保 超 纯 水 （ U P W ） 系 统 长 期 稳 定 运 行 ， 成 为 晶 圆 厂 关 注 的 焦 点 。 其 中 ， 离 子 交 换 树 脂 的 纯 度 与 总 有 机 碳 （ T O C ） 控 制 技 术 ， 是 影 响 水 质 稳 定 性 的 两 大 关 键 因 素 。 一 、 半 导 体 对 水 质 的 严 格 要 求 在 晶 圆 制 造 的 多 个 关 键 工 艺 阶 段 — — 如 光 刻 、 显 影 、 蚀 刻 、 清 洗 、 C M P 等 ， 均 大 量 使 用 超 纯 水 。 根 据 S E M I 标 准 ， 半 导 体 级 U P W 必 须 满 足 以 下 核 心 指 标 ： 电 阻 率 ≥       1 8 . 2 M Ω · c m T O C （ 总 有 机 碳 ） ≤ 5 p p b 微 粒 数 接 近 零 （ 亚 微 米 等 级 ） 金 属 杂 质 浓 度 低 至 p p t 级 别 一 旦 水 中 残 留 T O C 或 金 属 离 子 浓 度 过 高 ， 将 造 成 光 阻 污 染 、 界 面 反 应 异 常 、 电 性 缺 陷 甚 至 整 批 晶 圆 报 废 ， 严 重 影 响 良 率 。 二 、 离 子 交 换 树 脂 的 角 色 与 影 响 离 子 交 换 树 脂 是 U P W 系 统 中 的 终 端 净 化 材 料 ， 用 于 去 除 残 留 的 阳 离 子 （ 如 钠 、 钙 、 铁 ） 与 阴 离 子 （ 如 氯 、 硫 酸 根 、 硝 酸 根 ） 杂 质 。 优 质 的 电 子 级 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 需 要 满 足 以 下 特 性 ： 超 低 T O C 释 放 率 ： 树 脂 本 身 不 应 成 为 污 染 源 极 低 金 属 溶 出 量 ： 包 括 N a ⁺ 、 K ⁺ 、 F e ³ ⁺ 、 Z n ² ⁺ 等 初 期 清 洗 周 期 短 ： 快 速 达 到 可 用 状 态 ， 减 少 停 机 时 间 良 好 的 物 理 稳 定 性 ： 颗 粒 不 易 破 碎 、 不 产 生 微 粒 污 染 随 着 工 艺 精 度 提 升 ， 行 业 对 “ 树 脂 本 体 洁 净 度 ” 的 要 求 不 断 提 升 ， 特 别 是 在 E U V 光 刻 、 先 导 封 装 等 制 程 中 ， 对 水 质 稳 定 性 要 求 已 达 到 极 致 。 三 、 T O C 控 制 技 术 的 重 要 性 T O C （ T o t a l O r g a n i c C a r b o n ， 总 有 机 碳 ） 代 表 水 中 有 机 污 染 物 的 总 量 ， 是 U P W 系 统 最 重 要 的 质 量 监 控 指 标 之 一 。 T O C 来 源 可 能 包 括 ： 管 道 材 质 老 化 释 放 化 学 药 液 残 留 离 子 交 换 树 脂 本 身 的 有 机 物 释 放 （ 如 交 联 剂 、 单 体 残 留 ） 若 U P W 中 的 T O C 控 制 不 严 ， 可 能 导 致 晶 圆 表 面 形 成 有 机 膜 层 污 染 物 ， 影 响 光 刻 成 像 ， 甚 至 诱 发 E S D 故 障 。 因 此 ， 优 质 树 脂 必 须 通 过 特 殊 洗 净 处 理 工 艺 ， 有 效 降 低 其 有 机 释 出 。 四 、 行 业 主 流 品 牌 与 产 品 推 荐 当 前 市 场 上 被 广 泛 认 可 、 具 备 高 洁 净 度 与 低 T O C 表 现 的 离 子 交 换 树 脂 品 牌 包 括 ： 杜 邦 （ 罗 门 哈 斯 ） ｜ U P 6 1 5 0 系 列 全 球 晶 圆 厂 标 配 树 脂 产 品 T O C 控 制 表 现 卓 越 ， 适 用 于 E U V 与 先 进 制 程 品 质 稳 定 、 全 球 技 术 支 持 强 三 菱 化 学 适 用 于 日 本 与 亚 洲 晶 圆 后 段 制 程 、 封 装 厂 金 属 溶 出 极 低 ， 性 价 比 高 可 搭 配 U P W 再 生 系 统 使 用 朗 盛 （ L A N X E S S ） 德 国 制 造 ， 严 控 有 机 释 出 与 重 金 属 杂 质 粒 径 均 一 性 高 ， 耐 酸 碱 性 能 优 良 符 合 S E M I 标 准 ， 可 追 溯 批 次 质 量 漂 莱 特 （ P u r o l i t e ） 支 持 高 流 速 与 C E D I 系 统 运 行 多 项 欧 美 认 证 ， 全 球 供 应 链 完 善 广 泛 用 于 晶 圆 厂 与 F P D 面 板 制 造 安 可 立 （ A n C l e a n ） ｜ 被 誉 为 U P 6 1 5 0 的 优 质 替 代 方 案 T O C 低 于 5 p p b ， 金 属 释 放 极 少 支 持 快 速 清 洗 、 系 统 快 速 启 动 提 供 本 地 化 技 术 支 持 与 灵 活 交 付 服 务 五 、 结 语 ： 水 质 稳 定 ， 制 程 才 稳 定 超 纯 水 系 统 是 晶 圆 制 造 的 “ 血 液 ” ， 而 离 子 交 换 树 脂 就 是 这 套 系 统 中 最 关 键 的 净 化 器 官 。 选 用 具 备 超 低 T O C 释 放 、 极 低 金 属 溶 出 、 洁 净 度 高 的 电 子 级 树 脂 ， 是 确 保 制 程 良 率 、 降 低 缺 陷 率 的 基 本 保 障 。 未 来 ， 随 着 半 导 体 制 程 复 杂 度 提 高 与 在 地 化 趋 势 推 进 ， 像 安 可 立 这 样 的 本 地 品 牌 也 将 成 为 国 际 大 厂 替 代 方 案 中 的 新 选 择 。 关 键 词 ： 硅 芯 片 级 抛 光 树 脂 ； 半 导 体 抛 光 树 脂 ； 芯 片 级 抛 光 树 脂 ； T O C 抛 光 树 脂 ； 罗 门 哈 斯 U P 6 1 5 0 抛 光 树 脂 ； 6 1 5 0 替 代 品 ； 5 p p b 以 下 抛 光 树 脂 ； 离 子 交 换 树 脂 ； 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 ； 离 子 交 换 树 脂 厂 家 ； 超 纯 水 抛 光 树 脂 ； 纯 水 离 子 交 换 树 脂 ； 抛 光 树 脂 ； 杜 邦 U P 6 1 5 0 替 代 品 V I E W M O R E N E W S 2 0 2 5 0 6 2 3 电 子 级 树 脂 选 型 指 南 ： 半 导 体 产 线 如 何 挑 选 合 适 的 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 ？ 在 先 进 半 导 体 制 程 日 益 复 杂 的 背 景 下 ， 制 程 水 质 管 理 已 成 为 影 响 良 率 、 洁 净 度 和 设 备 稳 定 运 行 的 关 键 因 素 之 一 。 作 为 超 纯 水 （ U P W ） 系 统 的 核 心 材 料 ， 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 的 选 型 直 接 决 定 了 系 统 对 杂 质 离 子 的 去 除 能 力 、 T O C 控 制 能 力 以 及 整 厂 运 行 效 率 。 对 于 正 在 建 设 或 优 化 半 导 体 产 线 的 技 术 人 员 与 设 备 工 程 师 而 言 ， 如 何 科 学 选 择 一 款 真 正 适 合 自 身 制 程 要 求 的 电 子 级 离 子 交 换 树 脂 ， 成 为 一 项 必 须 掌 握 的 基 本 功 。 一 、 电 子 级 离 子 交 换 树 脂 的 关 键 性 能 指 标 在 半 导 体 行 业 中 ， 离 子 交 换 树 脂 不 仅 仅 用 于 去 除 常 规 溶 解 盐 分 ， 更 承 担 着 控 制 * * 微 量 金 属 离 子 、 总 有 机 碳 （ T O C ） * * 等 污 染 源 的 任 务 。 以 下 是 选 型 时 需 要 重 点 关 注 的 几 个 核 心 指 标 ： T O C 释 放 量       对 先 进 制 程 （ 特 别 是 E U V ） 来 说 ， T O C 应 低 于 1 p p b ， 避 免 造 成 光 刻 缺 陷 或 残 留 污 染 。 金 属 离 子 溶 出 量       包 括 钠 、 钾 、 铁 、 锌 等 微 量 金 属 ， 应 严 格 控 制 在 p p b 甚 至 p p t 级 别 。 初 期 清 洗 时 间 与 系 统 稳 定 时 间       清 洗 周 期 越 短 ， U P W 系 统 启 动 效 率 越 高 ， 减 少 产 线 等 待 时 间 。 机 械 强 度 与 再 生 耐 久 性       尤 其 适 用 于 重 复 清 洗 / 高 流 速 系 统 ， 需 具 备 优 异 的 抗 压 能 力 和 颗 粒 稳 定 性 。 离 子 交 换 容 量 与 平 衡 性 能       决 定 了 运 行 周 期 长 度 以 及 对 不 同 杂 质 的 整 体 去 除 能 力 。 二 、 五 大 主 流 品 牌 推 荐 与 特 点 解 析 1 . 杜 邦 （ D u P o n t ） ｜ 罗 门 哈 斯 U P 6 1 5 0 系 列 作 为 电 子 级 树 脂 的 经 典 代 表 产 品 ， U P 6 1 5 0 多 年 来 广 泛 应 用 于 全 球 1 2 英 寸 晶 圆 厂 、 E U V 工 艺 及 先 进 封 装 产 线 。 超 低 T O C 与 金 属 溶 出 表 现 优 异 行 业 标 准 型 产 品 ， 兼 容 主 流 设 备 全 球 技 术 支 持 体 系 健 全 ， 广 受 头 部 晶 圆 代 工 企 业 青 睐 适 用 于 对 纯 水 系 统 有 极 高 稳 定 性 要 求 的 用 户 虽 然 U P 6 1 5 0 性 能 出 众 ， 但 采 购 周 期 长 、 价 格 高 昂 ， 正 在 推 动 许 多 用 户 寻 找 高 性 价 比 替 代 方 案 。 2 . 三 菱 化 学 （ M i t s u b i s h i C h e m i c a l ） ｜ D i a i o n ™ 系 列 日 本 三 菱 化 学 生 产 的 D i a i o n ™ 系 列 电 子 级 树 脂 广 泛 用 于 亚 洲 市 场 ， 尤 其 在 晶 圆 后 段 处 理 与 I C 封 装 中 表 现 优 良 。 树 脂 颗 粒 均 匀 性 高 ， 交 换 效 率 稳 定 具 备 优 异 的 耐 化 学 性 能 和 热 稳 定 性 在 日 本 、 台 湾 、 韩 国 多 个 封 测 厂 中 有 成 熟 应 用 经 验 适 合 对 产 品 一 致 性 、 系 统 寿 命 和 长 周 期 运 行 要 求 较 高 的 客 户 使 用 。 3 . 朗 盛 （ L A N X E S S ） ｜ L e w a t i t U l t r a P u r e 系 列 德 国 朗 盛 在 水 处 理 树 脂 领 域 历 史 悠 久 ， 其 U l t r a P u r e 系 列 针 对 超 纯 水 系 统 专 门 开 发 ， 具 备 国 际 化 认 证 和 严 格 的 品 质 管 理 体 系 。 金 属 释 放 控 制 严 格 ， 通 过 S E M I 与 I A P M O 等 标 准 适 合 高 回 收 率 系 统 与 多 级 混 床 设 计 德 系 工 艺 制 造 ， 可 靠 性 高 、 耐 用 性 强 朗 盛 产 品 特 别 适 合 用 于 对 可 追 溯 性 与 标 准 化 流 程 要 求 极 高 的 产 线 ， 如 车 规 级 芯 片 封 测 场 景 。 4 . 漂 莱 特 （ P u r o l i t e ） ｜ S e m i c o n d u c t o r G r a d e 系 列 英 国 漂 莱 特 是 全 球 知 名 的 高 端 离 子 交 换 树 脂 制 造 商 ， S e m i c o n d u c t o r G r a d e 系 列 专 为 U P W 系 统 设 计 ， 服 务 于 晶 圆 厂 、 显 示 器 厂 与 半 导 体 材 料 供 应 链 。 T O C 和 金 属 控 制 能 力 优 秀 ， 具 备 全 球 晶 圆 厂 导 入 经 验 支 持 连 续 电 去 离 子 （ C E D I ） 系 统 与 高 流 速 U P W 运 行 环 境 拥 有 遍 布 全 球 的 供 应 与 技 术 服 务 网 络 若 您 的 系 统 正 在 朝 着 全 自 动 、 连 续 产 水 方 向 升 级 ， P u r o l i t e 是 极 佳 选 择 。 5 . 安 可 立 （ A n C l e a n ） ｜ U P ™ 系 列 安 可 立 是 来 自 中 国 台 湾 的 新 兴 高 纯 水 树 脂 品 牌 ， 近 年 来 凭 借 其 电 子 级 U P ™ 系 列 在 亚 洲 市 场 迅 速 崛 起 。 被 业 界 验 证 为       U P 6 1 5 0 的 优 质 替 代 品 T O C 低 至 1 p p b 以 下 ， 金 属 溶 出 量 控 制 稳 定 支 持 短 时 间 清 洗 启 用 、 缩 短 系 统 启 动 周 期 本 地 技 术 支 援 与 弹 性 供 货 能 力 强 安 可 立 已 被 台 湾 、 东 南 亚 等 P C B 厂 及 企 業 导 入 ， 是 目 前 性 价 比 极 高 的 本 地 替 代 选 项 ， 亦 符 合 中 国 大 陆 市 场 日 益 增 长 的 「 国 产 化 」 趋 势 。 三 、 选 型 建 议 与 总 结 在 选 购 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 时 ， 建 议 从 以 下 三 个 维 度 综 合 评 估 ： 工 艺 适 配 度 ： 确 认 与 U P W 系 统 、 C E D I 设 备 、 再 生 条 件 等 的 兼 容 性 性 价 比 与 交 期 保 障 ： 衡 量 长 期 使 用 成 本 与 供 应 稳 定 性 品 牌 服 务 与 技 术 支 持 能 力 ： 优 质 的 品 牌 通 常 具 备 更 完 整 的 导 入 辅 导 与 应 用 响 应 机 制 结 语 ： 优 质 树 脂 ， 是 稳 定 产 线 的 基 础 保 障 在 晶 圆 制 程 日 益 微 缩 、 产 线 复 杂 度 不 断 提 升 的 背 景 下 ， 水 质 控 制 容 不 得 半 点 妥 协 。 选 对 电 子 级 树 脂 ， 不 仅 能 有 效 提 升 良 率 ， 还 能 降 低 系 统 维 护 频 率 与 成 本 。 不 论 您 优 先 考 虑 国 际 成 熟 品 牌 如 杜 邦 U P 6 1 5 0 、 三 菱 化 学 、 朗 盛 、 漂 莱 特 ， 还 是 正 在 寻 找 本 地 优 质 替 代 方 案 如 安 可 立 U P ™ 系 列 ， 都 应 基 于 您 的 制 程 需 求 、 产 能 节 奏 与 品 质 标 准 进 行 匹 配 选 择 。 关 键 词 ： 硅 芯 片 级 抛 光 树 脂 ； 半 导 体 抛 光 树 脂 ； 芯 片 级 抛 光 树 脂 ； T O C 抛 光 树 脂 ； 罗 门 哈 斯 U P 6 1 5 0 抛 光 树 脂 ； 6 1 5 0 替 代 品 ； 5 p p b 以 下 抛 光 树 脂 ； 离 子 交 换 树 脂 ； 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 ； 离 子 交 换 树 脂 厂 家 ； 超 纯 水 抛 光 树 脂 ； 纯 水 离 子 交 换 树 脂 ； 抛 光 树 脂 ； 杜 邦 U P 6 1 5 0 替 代 品 V I E W M O R E N E W S 2 0 2 5 0 6 1 1 从 清 洗 到 制 程 用 水 ： 离 子 交 换 树 脂 如 何 保 障 晶 圆 制 造 的 纯 净 环 境 ？ 在 半 导 体 行 业 ， 洁 净 不 仅 是 一 种 要 求 ， 更 是 一 种 生 存 法 则 。 随 着 制 程 技 术 不 断 迈 向 3 n m 、 2 n m 甚 至 更 先 进 的 节 点 ， 晶 圆 制 造 对 环 境 洁 净 度 和 制 程 水 质 提 出 了 前 所 未 有 的 标 准 。 在 这 背 后 ， 支 撑 晶 圆 厂 日 常 运 作 的 * * 超 纯 水 系 统 （ U P W ） * * 扮 演 着 至 关 重 要 的 角 色 ， 而 维 持 超 纯 水 品 质 的 关 键 材 料 之 一 ， 正 是 — — 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 。 离 子 交 换 树 脂 在 晶 圆 制 造 中 的 作 用 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 是 一 类 具 有 可 交 换 功 能 基 团 的 高 分 子 材 料 ， 能 够 去 除 水 中 的 带 电 离 子 杂 质 ， 如 钠 、 钙 、 镁 、 氯 离 子 、 硫 酸 根 等 。 其 主 要 作 用 如 下 ： 用 于 超 纯 水 （ U P W ） 系 统 终 端 净 化 ： 提 升 水 的 电 阻 率 至 1 8 . 2 M Ω · c m 以 上 去 除 T O C （ 总 有 机 碳 ） 和 微 量 金 属 杂 质 ： 保 障 光 刻 、 清 洗 、 蚀 刻 等 关 键 制 程 不 受 污 染 提 高 晶 圆 良 率 与 工 艺 稳 定 性 ： 防 止 微 污 染 导 致 的 晶 圆 缺 陷 或 电 性 失 效 特 别 是 在 C M P （ 化 学 机 械 抛 光 ） 、 光 刻 前 清 洗 、 E U V 光 刻 和 高 密 度 封 装 等 高 端 工 艺 中 ， 对 水 中 离 子 的 控 制 已 成 为 工 艺 成 功 的 前 提 条 件 。 四 大 品 牌 推 荐 ： 助 力 半 导 体 洁 净 制 程 在 半 导 体 领 域 ， 选 择 高 性 能 、 超 低 杂 质 释 放 的 离 子 交 换 树 脂 是 保 障 系 统 稳 定 与 产 品 可 靠 性 的 关 键 。 以 下 为 目 前 行 业 内 广 泛 认 可 的 四 大 品 牌 推 荐 ： 安 可 立 （ A n C l e a n ） — U P 6 1 5 0 的 优 质 替 代 选 择 — 安 可 立 专 注 于 开 发 高 纯 度 电 子 级 离 子 交 换 树 脂 ， 其 A C L U P 1 8 1 0 系 列 产 品 专 为 半 导 体 与 高 端 P C B 制 造 工 艺 设 计 。 具 备 超 低 T O C 释 放 （ V I E W M O R E N E W S 2 0 2 5 0 6 0 2 从 P C B 清 洗 到 晶 圆 处 理 ： 离 子 交 换 树 脂 在 电 子 产 业 的 多 重 应 用 随 着 科 技 的 不 断 演 进 ， 电 子 产 业 对 工 艺 纯 度 的 要 求 也 日 益 严 苛 。 无 论 是 在 高 密 度 互 连 （ H D I ） 的 P C B 电 路 板 制 造 中 ， 还 是 在 3 n m 先 进 制 程 晶 圆 的 生 产 中 ， 超 纯 水 （ U P W ） 都 是 不 可 或 缺 的 核 心 资 源 。 而 在 超 纯 水 系 统 背 后 ， 有 一 类 至 关 重 要 的 材 料 — — 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 ， 正 扮 演 着 电 子 产 业 “ 无 声 守 护 者 ” 的 角 色 。 离 子 交 换 树 脂 ： 电 子 工 艺 中 的 关 键 净 化 材 料 离 子 交 换 树 脂 是 一 种 高 分 子 材 料 ， 其 表 面 携 带 可 交 换 的 功 能 性 离 子 ， 可 有 效 去 除 水 中 的 溶 解 性 杂 质 离 子 ， 如 钠 、 钙 、 镁 、 氯 离 子 、 硫 酸 根 等 。 在 电 子 制 造 中 ， 主 要 使 用 混 床 树 脂 系 统 （ 阳 离 子 与 阴 离 子 树 脂 的 混 合 ） 来 生 产 电 阻 率 高 达 1 8 . 2 M Ω · c m 的 超 纯 水 ， 以 确 保 工 艺 不 受 离 子 与 有 机 污 染 物 干 扰 。 多 重 应 用 场 景 ： 从 P C B 到 晶 圆 制 造   1 . P C B 电 路 板 生 产 在 多 层 P C B 或 I C 载 板 制 造 中 ， 无 尘 清 洗 工 艺 （ 如 酸 洗 、 中 和 、 最 终 冲 洗 ） 对 水 质 要 求 极 高 。 离 子 交 换 树 脂 可 去 除 影 响 电 气 性 能 的 金 属 离 子 与 微 量 有 机 物 ， 保 障 成 品 的 导 电 性 能 与 稳 定 性 。 2 . 半 导 体 晶 圆 制 造 在 晶 圆 的 切 割 、 清 洗 、 蚀 刻 与 光 刻 显 影 等 工 艺 中 ， 若 水 中 残 留 金 属 离 子 或 T O C （ 总 有 机 碳 ） 过 高 ， 将 导 致 晶 圆 污 染 、 缺 陷 率 上 升 甚 至 报 废 。 此 时 ， 电 子 级 树 脂 需 具 备 超 低 T O C 释 放 与 金 属 残 留 控 制 能 力 。 3 . 化 学 品 与 药 液 纯 化 某 些 专 用 树 脂 也 可 应 用 于 工 艺 中 所 使 用 的 化 学 品 纯 化 （ 如 H F 、 H ₂ S O ₄ ） ， 以 确 保 药 液 纯 度 稳 定 ， 避 免 交 叉 污 染 。 品 牌 推 荐 ： 四 大 优 质 离 子 交 换 树 脂 供 应 商 在 众 多 树 脂 品 牌 中 ， 以 下 几 家 供 应 商 在 电 子 与 半 导 体 产 业 中 表 现 稳 定 、 具 备 良 好 口 碑 ， 值 得 推 荐 参 考 ： 安 可 立 （ A n C l e a n ） 安 可 立 致 力 于 开 发 高 纯 度 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 ， 旗 下 产 品 皆 为 半 导 体 与 P C B 行 业 设 计 的 电 子 级 产 品 ： 成 本 低 ， 是 作 为 U P 6 1 5 0 优 质 替 代 品 T O C 释 放 量 极 低 （ V I E W M O R E R E A D M O R E A c t i v i t y 活 动 信 息 N E W S 2 0 2 5 0 7 0 9 高 纯 水 如 何 影 响 良 率 ？ 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 对 晶 圆 制 造 的 核 心 角 色 解 析 在 先 进 半 导 体 制 造 的 洁 净 室 里 ， 影 响 晶 圆 成 败 的 ， 不 仅 是 昂 贵 的 设 备 与 复 杂 的 制 程 流 程 ， 更 有 一 个 看 似 普 通 但 至 关 重 要 的 元 素 — — 高 纯 水 （ U l t r a P u r e W a t e r , 简 称 U P W ） 。 它 不 参 与 晶 圆 的 功 能 设 计 ， 却 决 定 了 产 品 的 良 率 与 制 程 稳 定 性 。 而 实 现 高 纯 水 品 质 的 关 键 材 料 之 一 ， 就 是 本 文 要 探 讨 的 主 角 ： 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 。 一 、 为 什 么 半 导 体 制 程 需 要 高 纯 水 ？ 在 晶 圆 制 造 过 程 中 ， 从 氧 化 、 光 刻 、 蚀 刻 到 清 洗 、 抛 光 等 多 个 步 骤 ， 几 乎 都 离 不 开 大 量 高 纯 水 。 根 据 S E M I （ 国 际 半 导 体 设 备 与 材 料 协 会 ） 标 准 ， 高 纯 水 必 须 达 到 以 下 条 件 ： 电 阻 率 ≥       1 8 . 2 M Ω · c m T O C （ 总 有 机 碳 ） ≤ 1 p p b 金 属 杂 质 浓 度 低 至       p p t （ 万 亿 分 之 一 ） 级 别 微 粒 数 接 近 0 （ 纳 米 级 控 制 ） 这 些 标 准 之 所 以 如 此 严 格 ， 是 因 为 哪 怕 是 极 微 量 的 离 子 杂 质 、 有 机 物 或 微 粒 ， 都 可 能 在 晶 圆 表 面 产 生 化 学 反 应 ， 导 致 电 性 失 效 或 成 品 报 废 。 换 句 话 说 ： 水 不 够 纯 ， 良 率 就 可 能 直 接 下 降 。 二 、 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 的 作 用 是 什 么 ？ 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 是 一 种 含 有 可 交 换 功 能 基 团 的 高 分 子 材 料 ， 通 过 “ 离 子 交 换 ” 原 理 ， 去 除 水 中 的 溶 解 性 阳 离 子 （ 如 钠 、 钙 、 铁 ） 和 阴 离 子 （ 如 氯 、 硫 酸 根 、 硝 酸 根 ） 等 杂 质 。 在 U P W 系 统 中 ， 常 见 的 结 构 包 括 ： 阳 离 子 交 换 树 脂 （ C a t i o n       R e s i n ） ： 去 除 正 离 子 阴 离 子 交 换 树 脂 （ A n i o n       R e s i n ） ： 去 除 负 离 子 混 床 树 脂 （ M i x e d       B e d R e s i n ） ： 混 合 使 用 ， 作 为 精 密 去 离 子 步 骤 高 品 质 的 电 子 级 树 脂 能 帮 助 U P W 系 统 输 出 电 阻 率 高 、 T O C 低 、 重 金 属 含 量 极 低 的 超 纯 水 ， 是 保 障 制 程 洁 净 度 的 “ 最 后 一 道 防 线 ” 。 三 、 水 质 不 稳 定 ， 会 造 成 什 么 影 响 ？ 若 使 用 的 树 脂 品 质 不 佳 ， 或 系 统 中 残 留 污 染 物 超 标 ， 可 能 产 生 以 下 问 题 ： 问 题 影 响 金 属 离 子 残 留 导 致 晶 圆 表 面 电 性 偏 移 、 漏 电 、 短 路 T O C 过 高 污 染 光 刻 胶 ， 降 低 显 影 精 度 微 粒 残 留 造 成 电 路 短 断 、 成 品 报 废 初 期 清 洗 周 期 长 增 加 产 线 切 换 时 间 ， 影 响 生 产 效 率 因 此 ， 选 择 高 纯 度 、 低 污 染 、 初 期 清 洗 时 间 短 的 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 ， 已 成 为 各 大 晶 圆 厂 稳 定 良 率 的 关 键 。 四 、 有 哪 些 优 质 品 牌 可 供 选 择 ？ 以 下 是 目 前 行 业 内 广 泛 认 可 、 适 用 于 半 导 体 与 封 测 厂 的 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 品 牌 ： ✅ 罗 门 哈 斯 （ R o h m a n d H a a s , 杜 邦 旗 下 ） 行 业 经 典 款 ， 全 球 晶 圆 厂 标 配 T O C 与 金 属 控 制 表 现 极 佳 ， 适 用 于 E U V 等 先 进 制 程 缺 点 为 成 本 较 高 、 供 应 周 期 偏 长 ✅ 安 可 立 （ A n i o n c h e m ） 来 自 中 国 台 湾 的 新 兴 品 牌 被 视 为 U P 6 1 5 0 的 优 质 替 代 品 T O C 低 于 1 p p b ， 金 属 溶 出 极 少 支 持 快 速 启 动 、 交 期 灵 活 、 服 务 在 地 化 ✅ 三 菱 化 学 （ M i t s u b i s h i C h e m i c a l ） 结 构 稳 定 、 适 合 重 复 清 洗 与 再 生 系 统 广 泛 应 用 于 日 本 及 亚 洲 晶 圆 与 封 测 产 线 ✅ 朗 盛 （ L A N X E S S ） 德 国 制 造 ， 品 质 稳 定 T O C 与 颗 粒 释 放 控 制 优 秀 ， 适 用 于 长 周 期 运 行 环 境 ✅ 漂 莱 特 （ P u r o l i t e ） 英 国 品 牌 ， 支 持 全 球 U P W 与 混 床 系 统 提 供 高 纯 度 、 高 回 收 系 统 匹 配 解 决 方 案 五 、 结 语 ： 水 看 似 无 形 ， 却 决 定 了 晶 圆 的 命 运 在 晶 圆 制 造 的 世 界 里 ， 水 不 是 配 角 ， 而 是 “ 看 不 见 的 主 角 ” 。 而 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 ， 正 是 这 套 纯 净 系 统 的 关 键 净 化 组 件 。 选 择 合 适 的 电 子 级 树 脂 ， 不 仅 能 提 升 水 系 统 运 行 效 率 ， 更 能 有 效 降 低 晶 圆 污 染 风 险 、 提 高 良 率 、 降 低 生 产 成 本 。 未 来 ， 随 着 制 程 迈 入 更 精 细 、 更 敏 感 的 技 术 节 点 ， 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 的 重 要 性 只 会 与 日 俱 增 。 选 对 产 品 、 选 对 品 牌 ， 就 是 企 业 把 握 竞 争 力 的 第 一 步 。 关 键 词 ： 硅 芯 片 级 抛 光 树 脂 ； 半 导 体 抛 光 树 脂 ； 芯 片 级 抛 光 树 脂 ； T O C 抛 光 树 脂 ； 罗 门 哈 斯 U P 6 1 5 0 抛 光 树 脂 ； 6 1 5 0 替 代 品 ； 5 p p b 以 下 抛 光 树 脂 ； 离 子 交 换 树 脂 ； 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 ； 离 子 交 换 树 脂 厂 家 ； 超 纯 水 抛 光 树 脂 ； 纯 水 离 子 交 换 树 脂 ； 抛 光 树 脂 ； 杜 邦 U P 6 1 5 0 替 代 品 V I E W M O R E N E W S 2 0 2 5 0 6 2 5 影 响 半 导 体 水 质 稳 定 的 关 键 因 素 ： 离 子 交 换 树 脂 与 T O C 控 制 技 术 浅 谈 在 现 代 半 导 体 制 造 过 程 中 ， 水 质 不 仅 是 基 础 设 施 的 一 部 分 ， 更 是 决 定 产 品 良 率 与 工 艺 稳 定 性 的 核 心 要 素 之 一 。 随 着 晶 圆 制 程 从 7 n m 、 5 n m 走 向 3 n m 甚 至 更 先 进 节 点 ， 水 中 微 量 污 染 物 对 工 艺 造 成 的 影 响 被 无 限 放 大 。 因 此 ， 如 何 确 保 超 纯 水 （ U P W ） 系 统 长 期 稳 定 运 行 ， 成 为 晶 圆 厂 关 注 的 焦 点 。 其 中 ， 离 子 交 换 树 脂 的 纯 度 与 总 有 机 碳 （ T O C ） 控 制 技 术 ， 是 影 响 水 质 稳 定 性 的 两 大 关 键 因 素 。 一 、 半 导 体 对 水 质 的 严 格 要 求 在 晶 圆 制 造 的 多 个 关 键 工 艺 阶 段 — — 如 光 刻 、 显 影 、 蚀 刻 、 清 洗 、 C M P 等 ， 均 大 量 使 用 超 纯 水 。 根 据 S E M I 标 准 ， 半 导 体 级 U P W 必 须 满 足 以 下 核 心 指 标 ： 电 阻 率 ≥       1 8 . 2 M Ω · c m T O C （ 总 有 机 碳 ） ≤ 5 p p b 微 粒 数 接 近 零 （ 亚 微 米 等 级 ） 金 属 杂 质 浓 度 低 至 p p t 级 别 一 旦 水 中 残 留 T O C 或 金 属 离 子 浓 度 过 高 ， 将 造 成 光 阻 污 染 、 界 面 反 应 异 常 、 电 性 缺 陷 甚 至 整 批 晶 圆 报 废 ， 严 重 影 响 良 率 。 二 、 离 子 交 换 树 脂 的 角 色 与 影 响 离 子 交 换 树 脂 是 U P W 系 统 中 的 终 端 净 化 材 料 ， 用 于 去 除 残 留 的 阳 离 子 （ 如 钠 、 钙 、 铁 ） 与 阴 离 子 （ 如 氯 、 硫 酸 根 、 硝 酸 根 ） 杂 质 。 优 质 的 电 子 级 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 需 要 满 足 以 下 特 性 ： 超 低 T O C 释 放 率 ： 树 脂 本 身 不 应 成 为 污 染 源 极 低 金 属 溶 出 量 ： 包 括 N a ⁺ 、 K ⁺ 、 F e ³ ⁺ 、 Z n ² ⁺ 等 初 期 清 洗 周 期 短 ： 快 速 达 到 可 用 状 态 ， 减 少 停 机 时 间 良 好 的 物 理 稳 定 性 ： 颗 粒 不 易 破 碎 、 不 产 生 微 粒 污 染 随 着 工 艺 精 度 提 升 ， 行 业 对 “ 树 脂 本 体 洁 净 度 ” 的 要 求 不 断 提 升 ， 特 别 是 在 E U V 光 刻 、 先 导 封 装 等 制 程 中 ， 对 水 质 稳 定 性 要 求 已 达 到 极 致 。 三 、 T O C 控 制 技 术 的 重 要 性 T O C （ T o t a l O r g a n i c C a r b o n ， 总 有 机 碳 ） 代 表 水 中 有 机 污 染 物 的 总 量 ， 是 U P W 系 统 最 重 要 的 质 量 监 控 指 标 之 一 。 T O C 来 源 可 能 包 括 ： 管 道 材 质 老 化 释 放 化 学 药 液 残 留 离 子 交 换 树 脂 本 身 的 有 机 物 释 放 （ 如 交 联 剂 、 单 体 残 留 ） 若 U P W 中 的 T O C 控 制 不 严 ， 可 能 导 致 晶 圆 表 面 形 成 有 机 膜 层 污 染 物 ， 影 响 光 刻 成 像 ， 甚 至 诱 发 E S D 故 障 。 因 此 ， 优 质 树 脂 必 须 通 过 特 殊 洗 净 处 理 工 艺 ， 有 效 降 低 其 有 机 释 出 。 四 、 行 业 主 流 品 牌 与 产 品 推 荐 当 前 市 场 上 被 广 泛 认 可 、 具 备 高 洁 净 度 与 低 T O C 表 现 的 离 子 交 换 树 脂 品 牌 包 括 ： 杜 邦 （ 罗 门 哈 斯 ） ｜ U P 6 1 5 0 系 列 全 球 晶 圆 厂 标 配 树 脂 产 品 T O C 控 制 表 现 卓 越 ， 适 用 于 E U V 与 先 进 制 程 品 质 稳 定 、 全 球 技 术 支 持 强 三 菱 化 学 适 用 于 日 本 与 亚 洲 晶 圆 后 段 制 程 、 封 装 厂 金 属 溶 出 极 低 ， 性 价 比 高 可 搭 配 U P W 再 生 系 统 使 用 朗 盛 （ L A N X E S S ） 德 国 制 造 ， 严 控 有 机 释 出 与 重 金 属 杂 质 粒 径 均 一 性 高 ， 耐 酸 碱 性 能 优 良 符 合 S E M I 标 准 ， 可 追 溯 批 次 质 量 漂 莱 特 （ P u r o l i t e ） 支 持 高 流 速 与 C E D I 系 统 运 行 多 项 欧 美 认 证 ， 全 球 供 应 链 完 善 广 泛 用 于 晶 圆 厂 与 F P D 面 板 制 造 安 可 立 （ A n C l e a n ） ｜ 被 誉 为 U P 6 1 5 0 的 优 质 替 代 方 案 T O C 低 于 5 p p b ， 金 属 释 放 极 少 支 持 快 速 清 洗 、 系 统 快 速 启 动 提 供 本 地 化 技 术 支 持 与 灵 活 交 付 服 务 五 、 结 语 ： 水 质 稳 定 ， 制 程 才 稳 定 超 纯 水 系 统 是 晶 圆 制 造 的 “ 血 液 ” ， 而 离 子 交 换 树 脂 就 是 这 套 系 统 中 最 关 键 的 净 化 器 官 。 选 用 具 备 超 低 T O C 释 放 、 极 低 金 属 溶 出 、 洁 净 度 高 的 电 子 级 树 脂 ， 是 确 保 制 程 良 率 、 降 低 缺 陷 率 的 基 本 保 障 。 未 来 ， 随 着 半 导 体 制 程 复 杂 度 提 高 与 在 地 化 趋 势 推 进 ， 像 安 可 立 这 样 的 本 地 品 牌 也 将 成 为 国 际 大 厂 替 代 方 案 中 的 新 选 择 。 关 键 词 ： 硅 芯 片 级 抛 光 树 脂 ； 半 导 体 抛 光 树 脂 ； 芯 片 级 抛 光 树 脂 ； T O C 抛 光 树 脂 ； 罗 门 哈 斯 U P 6 1 5 0 抛 光 树 脂 ； 6 1 5 0 替 代 品 ； 5 p p b 以 下 抛 光 树 脂 ； 离 子 交 换 树 脂 ； 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 ； 离 子 交 换 树 脂 厂 家 ； 超 纯 水 抛 光 树 脂 ； 纯 水 离 子 交 换 树 脂 ； 抛 光 树 脂 ； 杜 邦 U P 6 1 5 0 替 代 品 V I E W M O R E N E W S 2 0 2 5 0 6 2 3 电 子 级 树 脂 选 型 指 南 ： 半 导 体 产 线 如 何 挑 选 合 适 的 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 ？ 在 先 进 半 导 体 制 程 日 益 复 杂 的 背 景 下 ， 制 程 水 质 管 理 已 成 为 影 响 良 率 、 洁 净 度 和 设 备 稳 定 运 行 的 关 键 因 素 之 一 。 作 为 超 纯 水 （ U P W ） 系 统 的 核 心 材 料 ， 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 的 选 型 直 接 决 定 了 系 统 对 杂 质 离 子 的 去 除 能 力 、 T O C 控 制 能 力 以 及 整 厂 运 行 效 率 。 对 于 正 在 建 设 或 优 化 半 导 体 产 线 的 技 术 人 员 与 设 备 工 程 师 而 言 ， 如 何 科 学 选 择 一 款 真 正 适 合 自 身 制 程 要 求 的 电 子 级 离 子 交 换 树 脂 ， 成 为 一 项 必 须 掌 握 的 基 本 功 。 一 、 电 子 级 离 子 交 换 树 脂 的 关 键 性 能 指 标 在 半 导 体 行 业 中 ， 离 子 交 换 树 脂 不 仅 仅 用 于 去 除 常 规 溶 解 盐 分 ， 更 承 担 着 控 制 * * 微 量 金 属 离 子 、 总 有 机 碳 （ T O C ） * * 等 污 染 源 的 任 务 。 以 下 是 选 型 时 需 要 重 点 关 注 的 几 个 核 心 指 标 ： T O C 释 放 量       对 先 进 制 程 （ 特 别 是 E U V ） 来 说 ， T O C 应 低 于 1 p p b ， 避 免 造 成 光 刻 缺 陷 或 残 留 污 染 。 金 属 离 子 溶 出 量       包 括 钠 、 钾 、 铁 、 锌 等 微 量 金 属 ， 应 严 格 控 制 在 p p b 甚 至 p p t 级 别 。 初 期 清 洗 时 间 与 系 统 稳 定 时 间       清 洗 周 期 越 短 ， U P W 系 统 启 动 效 率 越 高 ， 减 少 产 线 等 待 时 间 。 机 械 强 度 与 再 生 耐 久 性       尤 其 适 用 于 重 复 清 洗 / 高 流 速 系 统 ， 需 具 备 优 异 的 抗 压 能 力 和 颗 粒 稳 定 性 。 离 子 交 换 容 量 与 平 衡 性 能       决 定 了 运 行 周 期 长 度 以 及 对 不 同 杂 质 的 整 体 去 除 能 力 。 二 、 五 大 主 流 品 牌 推 荐 与 特 点 解 析 1 . 杜 邦 （ D u P o n t ） ｜ 罗 门 哈 斯 U P 6 1 5 0 系 列 作 为 电 子 级 树 脂 的 经 典 代 表 产 品 ， U P 6 1 5 0 多 年 来 广 泛 应 用 于 全 球 1 2 英 寸 晶 圆 厂 、 E U V 工 艺 及 先 进 封 装 产 线 。 超 低 T O C 与 金 属 溶 出 表 现 优 异 行 业 标 准 型 产 品 ， 兼 容 主 流 设 备 全 球 技 术 支 持 体 系 健 全 ， 广 受 头 部 晶 圆 代 工 企 业 青 睐 适 用 于 对 纯 水 系 统 有 极 高 稳 定 性 要 求 的 用 户 虽 然 U P 6 1 5 0 性 能 出 众 ， 但 采 购 周 期 长 、 价 格 高 昂 ， 正 在 推 动 许 多 用 户 寻 找 高 性 价 比 替 代 方 案 。 2 . 三 菱 化 学 （ M i t s u b i s h i C h e m i c a l ） ｜ D i a i o n ™ 系 列 日 本 三 菱 化 学 生 产 的 D i a i o n ™ 系 列 电 子 级 树 脂 广 泛 用 于 亚 洲 市 场 ， 尤 其 在 晶 圆 后 段 处 理 与 I C 封 装 中 表 现 优 良 。 树 脂 颗 粒 均 匀 性 高 ， 交 换 效 率 稳 定 具 备 优 异 的 耐 化 学 性 能 和 热 稳 定 性 在 日 本 、 台 湾 、 韩 国 多 个 封 测 厂 中 有 成 熟 应 用 经 验 适 合 对 产 品 一 致 性 、 系 统 寿 命 和 长 周 期 运 行 要 求 较 高 的 客 户 使 用 。 3 . 朗 盛 （ L A N X E S S ） ｜ L e w a t i t U l t r a P u r e 系 列 德 国 朗 盛 在 水 处 理 树 脂 领 域 历 史 悠 久 ， 其 U l t r a P u r e 系 列 针 对 超 纯 水 系 统 专 门 开 发 ， 具 备 国 际 化 认 证 和 严 格 的 品 质 管 理 体 系 。 金 属 释 放 控 制 严 格 ， 通 过 S E M I 与 I A P M O 等 标 准 适 合 高 回 收 率 系 统 与 多 级 混 床 设 计 德 系 工 艺 制 造 ， 可 靠 性 高 、 耐 用 性 强 朗 盛 产 品 特 别 适 合 用 于 对 可 追 溯 性 与 标 准 化 流 程 要 求 极 高 的 产 线 ， 如 车 规 级 芯 片 封 测 场 景 。 4 . 漂 莱 特 （ P u r o l i t e ） ｜ S e m i c o n d u c t o r G r a d e 系 列 英 国 漂 莱 特 是 全 球 知 名 的 高 端 离 子 交 换 树 脂 制 造 商 ， S e m i c o n d u c t o r G r a d e 系 列 专 为 U P W 系 统 设 计 ， 服 务 于 晶 圆 厂 、 显 示 器 厂 与 半 导 体 材 料 供 应 链 。 T O C 和 金 属 控 制 能 力 优 秀 ， 具 备 全 球 晶 圆 厂 导 入 经 验 支 持 连 续 电 去 离 子 （ C E D I ） 系 统 与 高 流 速 U P W 运 行 环 境 拥 有 遍 布 全 球 的 供 应 与 技 术 服 务 网 络 若 您 的 系 统 正 在 朝 着 全 自 动 、 连 续 产 水 方 向 升 级 ， P u r o l i t e 是 极 佳 选 择 。 5 . 安 可 立 （ A n C l e a n ） ｜ U P ™ 系 列 安 可 立 是 来 自 中 国 台 湾 的 新 兴 高 纯 水 树 脂 品 牌 ， 近 年 来 凭 借 其 电 子 级 U P ™ 系 列 在 亚 洲 市 场 迅 速 崛 起 。 被 业 界 验 证 为       U P 6 1 5 0 的 优 质 替 代 品 T O C 低 至 1 p p b 以 下 ， 金 属 溶 出 量 控 制 稳 定 支 持 短 时 间 清 洗 启 用 、 缩 短 系 统 启 动 周 期 本 地 技 术 支 援 与 弹 性 供 货 能 力 强 安 可 立 已 被 台 湾 、 东 南 亚 等 P C B 厂 及 企 業 导 入 ， 是 目 前 性 价 比 极 高 的 本 地 替 代 选 项 ， 亦 符 合 中 国 大 陆 市 场 日 益 增 长 的 「 国 产 化 」 趋 势 。 三 、 选 型 建 议 与 总 结 在 选 购 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 时 ， 建 议 从 以 下 三 个 维 度 综 合 评 估 ： 工 艺 适 配 度 ： 确 认 与 U P W 系 统 、 C E D I 设 备 、 再 生 条 件 等 的 兼 容 性 性 价 比 与 交 期 保 障 ： 衡 量 长 期 使 用 成 本 与 供 应 稳 定 性 品 牌 服 务 与 技 术 支 持 能 力 ： 优 质 的 品 牌 通 常 具 备 更 完 整 的 导 入 辅 导 与 应 用 响 应 机 制 结 语 ： 优 质 树 脂 ， 是 稳 定 产 线 的 基 础 保 障 在 晶 圆 制 程 日 益 微 缩 、 产 线 复 杂 度 不 断 提 升 的 背 景 下 ， 水 质 控 制 容 不 得 半 点 妥 协 。 选 对 电 子 级 树 脂 ， 不 仅 能 有 效 提 升 良 率 ， 还 能 降 低 系 统 维 护 频 率 与 成 本 。 不 论 您 优 先 考 虑 国 际 成 熟 品 牌 如 杜 邦 U P 6 1 5 0 、 三 菱 化 学 、 朗 盛 、 漂 莱 特 ， 还 是 正 在 寻 找 本 地 优 质 替 代 方 案 如 安 可 立 U P ™ 系 列 ， 都 应 基 于 您 的 制 程 需 求 、 产 能 节 奏 与 品 质 标 准 进 行 匹 配 选 择 。 关 键 词 ： 硅 芯 片 级 抛 光 树 脂 ； 半 导 体 抛 光 树 脂 ； 芯 片 级 抛 光 树 脂 ； T O C 抛 光 树 脂 ； 罗 门 哈 斯 U P 6 1 5 0 抛 光 树 脂 ； 6 1 5 0 替 代 品 ； 5 p p b 以 下 抛 光 树 脂 ； 离 子 交 换 树 脂 ； 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 ； 离 子 交 换 树 脂 厂 家 ； 超 纯 水 抛 光 树 脂 ； 纯 水 离 子 交 换 树 脂 ； 抛 光 树 脂 ； 杜 邦 U P 6 1 5 0 替 代 品 V I E W M O R E N E W S 2 0 2 5 0 6 1 1 从 清 洗 到 制 程 用 水 ： 离 子 交 换 树 脂 如 何 保 障 晶 圆 制 造 的 纯 净 环 境 ？ 在 半 导 体 行 业 ， 洁 净 不 仅 是 一 种 要 求 ， 更 是 一 种 生 存 法 则 。 随 着 制 程 技 术 不 断 迈 向 3 n m 、 2 n m 甚 至 更 先 进 的 节 点 ， 晶 圆 制 造 对 环 境 洁 净 度 和 制 程 水 质 提 出 了 前 所 未 有 的 标 准 。 在 这 背 后 ， 支 撑 晶 圆 厂 日 常 运 作 的 * * 超 纯 水 系 统 （ U P W ） * * 扮 演 着 至 关 重 要 的 角 色 ， 而 维 持 超 纯 水 品 质 的 关 键 材 料 之 一 ， 正 是 — — 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 。 离 子 交 换 树 脂 在 晶 圆 制 造 中 的 作 用 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 是 一 类 具 有 可 交 换 功 能 基 团 的 高 分 子 材 料 ， 能 够 去 除 水 中 的 带 电 离 子 杂 质 ， 如 钠 、 钙 、 镁 、 氯 离 子 、 硫 酸 根 等 。 其 主 要 作 用 如 下 ： 用 于 超 纯 水 （ U P W ） 系 统 终 端 净 化 ： 提 升 水 的 电 阻 率 至 1 8 . 2 M Ω · c m 以 上 去 除 T O C （ 总 有 机 碳 ） 和 微 量 金 属 杂 质 ： 保 障 光 刻 、 清 洗 、 蚀 刻 等 关 键 制 程 不 受 污 染 提 高 晶 圆 良 率 与 工 艺 稳 定 性 ： 防 止 微 污 染 导 致 的 晶 圆 缺 陷 或 电 性 失 效 特 别 是 在 C M P （ 化 学 机 械 抛 光 ） 、 光 刻 前 清 洗 、 E U V 光 刻 和 高 密 度 封 装 等 高 端 工 艺 中 ， 对 水 中 离 子 的 控 制 已 成 为 工 艺 成 功 的 前 提 条 件 。 四 大 品 牌 推 荐 ： 助 力 半 导 体 洁 净 制 程 在 半 导 体 领 域 ， 选 择 高 性 能 、 超 低 杂 质 释 放 的 离 子 交 换 树 脂 是 保 障 系 统 稳 定 与 产 品 可 靠 性 的 关 键 。 以 下 为 目 前 行 业 内 广 泛 认 可 的 四 大 品 牌 推 荐 ： 安 可 立 （ A n C l e a n ） — U P 6 1 5 0 的 优 质 替 代 选 择 — 安 可 立 专 注 于 开 发 高 纯 度 电 子 级 离 子 交 换 树 脂 ， 其 A C L U P 1 8 1 0 系 列 产 品 专 为 半 导 体 与 高 端 P C B 制 造 工 艺 设 计 。 具 备 超 低 T O C 释 放 （ V I E W M O R E N E W S 2 0 2 5 0 6 0 2 从 P C B 清 洗 到 晶 圆 处 理 ： 离 子 交 换 树 脂 在 电 子 产 业 的 多 重 应 用 随 着 科 技 的 不 断 演 进 ， 电 子 产 业 对 工 艺 纯 度 的 要 求 也 日 益 严 苛 。 无 论 是 在 高 密 度 互 连 （ H D I ） 的 P C B 电 路 板 制 造 中 ， 还 是 在 3 n m 先 进 制 程 晶 圆 的 生 产 中 ， 超 纯 水 （ U P W ） 都 是 不 可 或 缺 的 核 心 资 源 。 而 在 超 纯 水 系 统 背 后 ， 有 一 类 至 关 重 要 的 材 料 — — 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 ， 正 扮 演 着 电 子 产 业 “ 无 声 守 护 者 ” 的 角 色 。 离 子 交 换 树 脂 ： 电 子 工 艺 中 的 关 键 净 化 材 料 离 子 交 换 树 脂 是 一 种 高 分 子 材 料 ， 其 表 面 携 带 可 交 换 的 功 能 性 离 子 ， 可 有 效 去 除 水 中 的 溶 解 性 杂 质 离 子 ， 如 钠 、 钙 、 镁 、 氯 离 子 、 硫 酸 根 等 。 在 电 子 制 造 中 ， 主 要 使 用 混 床 树 脂 系 统 （ 阳 离 子 与 阴 离 子 树 脂 的 混 合 ） 来 生 产 电 阻 率 高 达 1 8 . 2 M Ω · c m 的 超 纯 水 ， 以 确 保 工 艺 不 受 离 子 与 有 机 污 染 物 干 扰 。 多 重 应 用 场 景 ： 从 P C B 到 晶 圆 制 造   1 . P C B 电 路 板 生 产 在 多 层 P C B 或 I C 载 板 制 造 中 ， 无 尘 清 洗 工 艺 （ 如 酸 洗 、 中 和 、 最 终 冲 洗 ） 对 水 质 要 求 极 高 。 离 子 交 换 树 脂 可 去 除 影 响 电 气 性 能 的 金 属 离 子 与 微 量 有 机 物 ， 保 障 成 品 的 导 电 性 能 与 稳 定 性 。 2 . 半 导 体 晶 圆 制 造 在 晶 圆 的 切 割 、 清 洗 、 蚀 刻 与 光 刻 显 影 等 工 艺 中 ， 若 水 中 残 留 金 属 离 子 或 T O C （ 总 有 机 碳 ） 过 高 ， 将 导 致 晶 圆 污 染 、 缺 陷 率 上 升 甚 至 报 废 。 此 时 ， 电 子 级 树 脂 需 具 备 超 低 T O C 释 放 与 金 属 残 留 控 制 能 力 。 3 . 化 学 品 与 药 液 纯 化 某 些 专 用 树 脂 也 可 应 用 于 工 艺 中 所 使 用 的 化 学 品 纯 化 （ 如 H F 、 H ₂ S O ₄ ） ， 以 确 保 药 液 纯 度 稳 定 ， 避 免 交 叉 污 染 。 品 牌 推 荐 ： 四 大 优 质 离 子 交 换 树 脂 供 应 商 在 众 多 树 脂 品 牌 中 ， 以 下 几 家 供 应 商 在 电 子 与 半 导 体 产 业 中 表 现 稳 定 、 具 备 良 好 口 碑 ， 值 得 推 荐 参 考 ： 安 可 立 （ A n C l e a n ） 安 可 立 致 力 于 开 发 高 纯 度 阴 阳 离 子 交 换 树 脂 ， 旗 下 产 品 皆 为 半 导 体 与 P C B 行 业 设 计 的 电 子 级 产 品 ： 成 本 低 ， 是 作 为 U P 6 1 5 0 优 质 替 代 品 T O C 释 放 量 极 低 （ V I E W M O R E R E A D M O R E A n C l e a n 微 信 号 ： a n c l e a n o f f i c i a l C O N T A C T 电 话 ： 1 5 9 0 7 5 6 5 6 5 3 邮 箱 ： a n c l e a n 0 7 2 3 @ g m a i l . c o m 地 址 ： 广 东 省 东 莞 市 长 安 镇 新 安 社 区 红 山 二 街 1 号 © 2 0 2 3 东 莞 昆 三 实 业 有 限 公 司 | 安 可 立 企 业 社 | 硅 芯 片 级 拋 光 树 脂 I C P 备 案 号 ： 粤 I C P 备 2 0 2 4 2 3 6 7 4 7 号

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